Wie funktioniert thermisches Verdampfen (PVD)?
Thermisches Verdampfen - ist eine vakuumbasierte Beschichtungstechnik, bei der ein Material verdampft und dann auf die Substratoberfläche gebracht wird (z.B. Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)).
Bei dieser Beschichtungstechnik wird das Material (z.B. Gold), welches als Schicht dienen soll, geheizt, sodass es zum Sieden gebracht wird. Das Material wird also gasförmig und steigt nach oben, wo das Substrat (z.B. Silizium) befestigt ist. Durch eine dort herrschende geringere Temperatur kondensiert das Gas auf der Substratoberfläche. Auf diese Weise bildet sich eine dünne Schicht.
Die Beschichtung sollte in einem Hochvakuum passieren; bei einem Druck von ca. \(10^{-6}\) mbar. Damit werden Stöße mit den Luftteilchen verringert und damit die Reinheit der Beschichtung verbessert, denn das verdampfte Material kann z.B. mit Luftmolekülen oxidieren und damit die Substratoberfläche verunreinigen.
Statt das Material mittels eines großen elektrischen Stroms zu verdampfen, kann dies auch mit einem Elektronenstrahl (electron beam evaporation) oder Laserstrahlen (pulsed laser deposition) geschehen.